簡要描述:Huace-6 中端探針臺可兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動 ;可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復應用
產(chǎn)品分類
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品牌 | 北京華測 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,航天,電氣 |
Huace-6 中端探針臺
產(chǎn)品簡介:
Huace-6 中端探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
產(chǎn)品特點及應用:
◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等;
◆ 可用于8英寸以內(nèi)樣品測試;
◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動;
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動;
◆ 可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復應用;
技術(shù)參數(shù):
臺體規(guī)格 | |
尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
水平旋轉(zhuǎn) | 可360°旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 | 4英寸×4英寸/6英寸×6英寸 |
X-Y移動精度 | 10μm/1μm |
樣品臺Z軸調(diào)節(jié) | 可升降10mm |
樣品固定 | 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán) |
針座平臺 | U型針座平臺,zuiduo可放置6個探針座 |
背電極測試 | 樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極 |
外形尺寸 | 400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高 |
設備重量 | 約20KG |
光學系統(tǒng) | |
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
定位器 | |
X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm |
吸附方式 | 磁力吸附,真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm |
針尖材質(zhì) | 鎢鋼;鈹銅 |
可選附件:
加熱臺;
顯示器;
轉(zhuǎn)接頭;
射頻測試配件;
屏蔽箱;
光學平臺;
鍍金卡盤;
光電測試配件;
高壓測試配件;
顯微鏡快速傾仰裝置;
激光系統(tǒng);
探針卡夾具;
探針臺可根據(jù)客戶要求定制。
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